반도체 특수배관
반도체 특수배관
업계최초. 압·사출성형 공법으로 제조한 내화학성 도막
도막층 핀홀 및 크랙이 없는 강력한 내구성
박리에 강하며 정확한 치수로 작업편의성 향상
| 시험명 | 시험기관 | 시험조건 | 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 진공시험(PIPE,ADAPTOR) | 한국 표준 과학 연구소(KRISS) | 23±0.5℃ | 10-10 mbar(STS Plate+PEV) | |
| 접착강도(STS+PEV) | 한국건설생활환경 시험연구원(KCL) |
23±2℃ | 36.3kg≒60N/cm(STS Plate+PEV) | |
| 내화학성(PEV) | 한국고분자시험 연구원(KORTRI) |
23±2.0℃(168시간) | 질산(70%), 불산(40%) 암모니아(25%) |
|
| 내화학성(GASKET) | 전자 부품 소재 기술 혁신센터(TICEM) |
23±2.0℃ | 질산(70%), 불산(48%) 암모니아(25%)과산화수소(34%) |
이상없음 |
(Unit : mm)
| Nominal | Size | (A) Outside Dia | (B) Inside Dia | (L) LENGTH | REMARK |
|---|---|---|---|---|---|
| 100(mm) | 4(inch) | ø101.6 | ø90.6 | 2000 / 1500 / 1000 / 600 / 300 |
*Material : STS 304, Flange type |
| 50(mm) | 2(inch) | ø57.1 | ø49.2 | 4000 | *Material : STS 304, No Flange |
* 직관 현장 커팅용 JIG
반도체 특수배관
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